●高精度; 實現了滯環小于0.1 %的高精度,從而可大幅度提高母機的再現性。

●高響應; 有關響應性指標之階躍響應和頻率響應特性,具有階躍響應：2 ms頻率響應：450 Hz的超群響應特性,從而與以往相比可實現母機的大幅度高響應化。